d07-9e氣體質(zhì)量流量控制器用途:
質(zhì)量流量控制器（mfc）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
d07-9e氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號
d07-9e
產(chǎn)品類型
普通型
流量量程
20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm
產(chǎn)品精度
±2％f.s.
重復(fù)精度
±0.2% fs
線性
±1％f.s.
響應(yīng)時(shí)間
≤4sec
工作溫度范圍
(5~45)°c
耐壓
3mpa
密封材料
氟橡膠viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) neoprene
輸入輸出信號
(0~5)vdc
電源
±15v
閥類型
常閉
溫度系數(shù)
- 無 -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)
- 無 -
電氣連接
d sub 15 pins male
工作壓差范圍
(0.05～0.30) mpa（20slm ≤f.s.≤30slm）,(0.10～0.30) mpa（50slm m≤f.s.≤150slm）,(0.15～0.30) mpa（200slm ≤f.s.≤250slm）
漏率
1×10-8atm•cc / sec he（1×10-9 pa•m3 / sec he）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式
vcr1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套φ12,雙卡套φ6(滿量程≤60slm),雙卡套φ8(滿量程≤200slm),雙卡套φ10
表面化學(xué)成分
- 無 -
表面粗糙度
- 無 -
抗電磁干擾
- 無 -
重量
2.6kg

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