TC WAFER晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 晶圓硅片測(cè)溫?zé)犭娕?/h1>
tc wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 晶圓硅片測(cè)溫?zé)犭娕?br>tc wafer是什么？
tc為熱電偶的簡(jiǎn)稱， tc-wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對(duì)晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。通過(guò)晶圓的測(cè)溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過(guò)程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。
智測(cè)電子生產(chǎn)研發(fā)的wafer-tc晶圓熱電偶溫度傳感器，其溫度范圍廣泛，智測(cè)電子的產(chǎn)品設(shè)計(jì)考慮到了用戶的實(shí)際需求，傳感器引線可定制，且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù)，使其具有更好的性能和可靠性。 總之，智測(cè)電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢(shì)，而且在服務(wù)方面也能夠?yàn)橛脩籼峁I(yè)的解決方案。
tc-wafer晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用于許多行業(yè)，包括快速熱處理 (rtp)、快速熱退火 (rta)、曝光后烘烤 (peb)、化學(xué)氣相沉積 (cvd)、物理氣相沉積 (pvd)、ion 等應(yīng)用注入、太陽(yáng)能電池和許多其他熱驅(qū)動(dòng)工藝。智測(cè)電子具有高精度溫度測(cè)量與控制技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，支持產(chǎn)品定制。
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