日本ulvac cfb-1600f風(fēng)冷復(fù)合分子泵一、產(chǎn)品簡介
cfb-f系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵的性能與復(fù)合分子泵一樣,適用于沒有水源且環(huán)境溫度不高的地方,或經(jīng)常移動(dòng)的排氣機(jī)組等。
日本ulvac cfb-1600f風(fēng)冷復(fù)合分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)
復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1600f風(fēng)冷復(fù)合分子泵三、主要性能指標(biāo)
型號(hào)
cfb-1600f
訂貨號(hào)
3167
3168
進(jìn)氣口法蘭
—
lf250
cf250
排氣口法蘭
—
kf50
抽氣速率
l/s
1600
壓縮比n2/h2
—
1×109/1×104
極限壓強(qiáng)
pa
5×10-7
8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動(dòng)時(shí)間
min
<6
振動(dòng)值
μm
≤0.15
前極泵
l/s
15
冷卻方式
—
風(fēng)冷(環(huán)境溫度<37℃)
泵體烘烤溫度
℃
<120
加熱器功率
w
<700
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
~39
四、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格
cfb-1600f
高真空法蘭
lf250
cf250
d1
ф290
ф305
d2
ф296
ф296
d3
□183.8
□183.8
l1
161
161
l2
166
166
h1
467
467
h2
70
70
h3
185.5
185.5
h4
153
153
泵腿螺釘孔
4-m8
4-m8
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