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半導體制程_IC芯片高速高精度貼片

客戶要求:1,該方案采用高速、高精度、高動態(tài)特性的笛卡爾龍門坐標軸設計;
2,分辨率:1vpp sin/cos (典型推薦分辨率5nm);
3,雙向重復定位精度:±0.75μm(base)±0.4μm(plus);
4,定位精度(線性誤差修正):±3μm(base)±1μm(plus);
5,正交誤差:10arc sec;
6,工作速度:2000mm/s;
典型的應用領域
1,oled面板切割;
2,ic芯片貼片;
3,高速高精度自動點膠;
4,新能源_鋰電池焊接;

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