按熒光強(qiáng)度的測(cè)定方式，xrf儀可分為波長(zhǎng)色散和能量色散兩種方式兩類儀器。在波長(zhǎng)色散光譜儀中，樣品發(fā)射出的各種波長(zhǎng)的熒光x射線，在達(dá)到探測(cè)器之前，已由分光晶體按其波長(zhǎng)大小在空間散開。因此，原則上說，探測(cè)器每次只接收一種波長(zhǎng)。在0.02~1.5nm波段內(nèi)，單晶是一種zui有效的色散器，配合單道脈沖高度分析器，可以成功地消除衍射的干擾。對(duì)波長(zhǎng)大于1.5nm的超軟x射線，則往往采用面間距d較大的金屬有機(jī)化和物晶體或人造多層薄膜晶體作為波長(zhǎng)色散的晶體。
在能量色散光譜儀中，探測(cè)器同時(shí)接收樣品中所有元素發(fā)散出的熒光x射線，然后輸出，經(jīng)放大，送到脈沖高度選擇器。脈高選擇器按各個(gè)波長(zhǎng)的脈高分布的平均脈沖高度加以分離，也就是按入射x射線光能量把他們分開。適當(dāng)?shù)卦O(shè)置基線和窗口，可以單獨(dú)地測(cè)量每種能量分析線的脈沖分布，或適當(dāng)?shù)卦O(shè)置探測(cè)器電壓和放大器增益，也可以把單個(gè)分析線的脈沖高度移到一個(gè)固定的窗寬之內(nèi)。多道脈沖高度分析器可同時(shí)顯示所有脈沖高度。
按探測(cè)器的多少，波長(zhǎng)色散型xrf儀又可分為單道掃描和多道xrf儀。單道掃描xrf儀為順序式測(cè)量，一般采用平晶衍射型分光系統(tǒng)。
多元素分析儀（多道x射線熒光光譜儀）一般采用彎晶聚焦型分光系統(tǒng)。它的特點(diǎn)是固定道以彎晶和狹縫組合成的，以大立體角接收試樣產(chǎn)生的熒光x射線強(qiáng)度。在多道x射線光譜儀中，測(cè)角器是小型化的，目前zui多已安裝30個(gè)元素的通道，而且根據(jù)被分析元素可分別配備*化的光學(xué)系統(tǒng)，是zui適宜的探測(cè)器。為了擴(kuò)大分析范圍，可在多道光譜儀上安裝1~2個(gè)掃描式測(cè)角器。

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