ESS 氦質(zhì)譜檢漏儀在真空驗(yàn)證中的應(yīng)用
氦質(zhì)譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
氦氣作為惰性氣體，不會(huì)腐蝕設(shè)備，且在容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境中干擾較少，信號(hào)較純，因而
常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體
分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量
大小。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀
器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。
以西格瑪旗下的safchitech子公司為例
epichem(epichemlimited,特殊氣體分部)要求ess設(shè)計(jì)并建造了一套檢測(cè)系統(tǒng),用于泵壓、
烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測(cè)以及有機(jī)金屬起泡劑的制備氣認(rèn)證。
起泡器(過去常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機(jī)金屬)是一些體積較小的金屬罐，配置有進(jìn)出閥。
由于具有高真空超潔凈的特點(diǎn)，因此起泡器在填充前要求相當(dāng)?shù)臐崈簟Ｍ瑫r(shí)，由于起泡器內(nèi)
填充的是氧氣，避免泄漏發(fā)生爆炸也至關(guān)重要。
針對(duì)此應(yīng)用，ess開發(fā)出了一種特殊的雙進(jìn)樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個(gè)經(jīng)校準(zhǔn)的正壓泄
漏測(cè)試模塊，還具有一個(gè)自動(dòng)化的高真空測(cè)試模塊。
首先，將起泡器放置于平臺(tái)上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測(cè)
裝置“嗅辨”一下。任何檢測(cè)到的泄漏記錄與起泡器序列號(hào)一一對(duì)應(yīng)，發(fā)生任何超過用戶設(shè)
置的zui大允許結(jié)果泄漏的起泡器都會(huì)被拒絕放行。
然后將起泡器安裝10個(gè)一排的裝置上，該裝置配有無油前級(jí)泵和渦輪分子泵。在軟件*
控制下，外部管線抽真空并保持狀態(tài)，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)
可以監(jiān)測(cè)任何氦泄漏。
若通過泄漏測(cè)試，將起泡器抽真空、烘烤。測(cè)試結(jié)束時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)分析起泡器和接頭
管線中的氣體。為保證測(cè)試結(jié)果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于1ppm。
測(cè)試結(jié)束時(shí)，會(huì)提醒操作人員，并顯示測(cè)試結(jié)果是通過還是拒絕，所有測(cè)試數(shù)據(jù)將會(huì)被記錄，
便于溯源。
監(jiān)測(cè)組分
檢測(cè)限
丙酮(acetone)
0.5ppm
乙醇(ethanol)
0.5ppm
氦氣(helium)
0.5ppm
氮?dú)?nitrogen)
0.5ppm
氧氣(oxygen)
0.5ppm
三氯乙烯(trichloroethylene)
0.5ppm
水(water)
0.5ppm
*：essreactorr系列質(zhì)譜儀
reactorr-s質(zhì)譜儀
與reactorr-v具有相同的硬件平臺(tái)
占地空間小，節(jié)省潔凈室操作空間
配備軟件，用于半導(dǎo)體檢測(cè)
可用于解決客戶故障，優(yōu)化半導(dǎo)體應(yīng)用，節(jié)省時(shí)間和金錢。
reactorr-v真空過程監(jiān)控的質(zhì)譜系統(tǒng)
?
于監(jiān)測(cè)真空處理，如真空加熱處理，太陽能電池板制程等
配備全自動(dòng)進(jìn)樣端口，可不中斷或不干預(yù)式監(jiān)測(cè)整個(gè)過程
可以直接與真空腔室耦合連接
英國(guó)ess產(chǎn)品
ess公司是世界yi流的高質(zhì)量質(zhì)譜系統(tǒng)制造商，開發(fā)了一系列氣體分析應(yīng)用，和制造了氣體
分析的ms監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
ess產(chǎn)品型號(hào)眾多，分別針對(duì)各種應(yīng)用。我們提供適合各種應(yīng)用的不同進(jìn)樣系統(tǒng)以及特定型
號(hào)，一直在持續(xù)開發(fā)新品以滿足新的應(yīng)用，敬請(qǐng)關(guān)注。
自吸式無堵塞排污泵吸不上水的原因及解決方法
吸聲 減震橡塑保溫板廠家價(jià)格
5G商用進(jìn)入“賽跑”階段 布局情況 產(chǎn)業(yè)鏈分析
鎂鈣系耐火材料國(guó)內(nèi)有新希望
D671F氣動(dòng)對(duì)夾式碟閥的特點(diǎn)附件選項(xiàng)和訂貨說明
ESS 氦質(zhì)譜檢漏儀在真空驗(yàn)證中的應(yīng)用
如何成功申報(bào)三級(jí)承試資質(zhì)設(shè)備
真空減壓濃縮器的多元化發(fā)展，響應(yīng)時(shí)代的號(hào)召
德國(guó)afriso GTK型恒溫器四個(gè)使用注意事項(xiàng)
“東數(shù)西算”全面開工 打通東西部數(shù)字經(jīng)濟(jì)大動(dòng)脈
怎樣保持超純水*水質(zhì)？
垃圾滲濾液廢水處理工藝的解決方案
浮子流量計(jì)怎么讀數(shù)
為什么管理人員應(yīng)該采取實(shí)際行動(dòng)來實(shí)現(xiàn)互聯(lián)安全
拾音器避免產(chǎn)生噪音的九種小技巧
VA7010系列電動(dòng)二通閥直銷技術(shù)指標(biāo)
打卡網(wǎng)紅墻
kistler成功案例：工業(yè)生產(chǎn)過程中100%質(zhì)量控制和柔性化設(shè)計(jì)
實(shí)驗(yàn)室PP實(shí)驗(yàn)臺(tái)如何保養(yǎng)和維護(hù)？
JF-3全自動(dòng)數(shù)顯氧指數(shù)測(cè)定儀的實(shí)驗(yàn)操作方法
氦氣作為惰性氣體，不會(huì)腐蝕設(shè)備，且在容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境中干擾較少，信號(hào)較純，因而
常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體
分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量
大小。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀
器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。
以西格瑪旗下的safchitech子公司為例
epichem(epichemlimited,特殊氣體分部)要求ess設(shè)計(jì)并建造了一套檢測(cè)系統(tǒng),用于泵壓、
烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測(cè)以及有機(jī)金屬起泡劑的制備氣認(rèn)證。
起泡器(過去常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機(jī)金屬)是一些體積較小的金屬罐，配置有進(jìn)出閥。
由于具有高真空超潔凈的特點(diǎn)，因此起泡器在填充前要求相當(dāng)?shù)臐崈簟Ｍ瑫r(shí)，由于起泡器內(nèi)
填充的是氧氣，避免泄漏發(fā)生爆炸也至關(guān)重要。
針對(duì)此應(yīng)用，ess開發(fā)出了一種特殊的雙進(jìn)樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個(gè)經(jīng)校準(zhǔn)的正壓泄
漏測(cè)試模塊，還具有一個(gè)自動(dòng)化的高真空測(cè)試模塊。
首先，將起泡器放置于平臺(tái)上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測(cè)
裝置“嗅辨”一下。任何檢測(cè)到的泄漏記錄與起泡器序列號(hào)一一對(duì)應(yīng)，發(fā)生任何超過用戶設(shè)
置的zui大允許結(jié)果泄漏的起泡器都會(huì)被拒絕放行。
然后將起泡器安裝10個(gè)一排的裝置上，該裝置配有無油前級(jí)泵和渦輪分子泵。在軟件*
控制下，外部管線抽真空并保持狀態(tài)，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)
可以監(jiān)測(cè)任何氦泄漏。
若通過泄漏測(cè)試，將起泡器抽真空、烘烤。測(cè)試結(jié)束時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)分析起泡器和接頭
管線中的氣體。為保證測(cè)試結(jié)果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于1ppm。
測(cè)試結(jié)束時(shí)，會(huì)提醒操作人員，并顯示測(cè)試結(jié)果是通過還是拒絕，所有測(cè)試數(shù)據(jù)將會(huì)被記錄，
便于溯源。
監(jiān)測(cè)組分
檢測(cè)限
丙酮(acetone)
0.5ppm
乙醇(ethanol)
0.5ppm
氦氣(helium)
0.5ppm
氮?dú)?nitrogen)
0.5ppm
氧氣(oxygen)
0.5ppm
三氯乙烯(trichloroethylene)
0.5ppm
水(water)
0.5ppm
*：essreactorr系列質(zhì)譜儀
reactorr-s質(zhì)譜儀
與reactorr-v具有相同的硬件平臺(tái)
占地空間小，節(jié)省潔凈室操作空間
配備軟件，用于半導(dǎo)體檢測(cè)
可用于解決客戶故障，優(yōu)化半導(dǎo)體應(yīng)用，節(jié)省時(shí)間和金錢。
reactorr-v真空過程監(jiān)控的質(zhì)譜系統(tǒng)
?
于監(jiān)測(cè)真空處理，如真空加熱處理，太陽能電池板制程等
配備全自動(dòng)進(jìn)樣端口，可不中斷或不干預(yù)式監(jiān)測(cè)整個(gè)過程
可以直接與真空腔室耦合連接
英國(guó)ess產(chǎn)品
ess公司是世界yi流的高質(zhì)量質(zhì)譜系統(tǒng)制造商，開發(fā)了一系列氣體分析應(yīng)用，和制造了氣體
分析的ms監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
ess產(chǎn)品型號(hào)眾多，分別針對(duì)各種應(yīng)用。我們提供適合各種應(yīng)用的不同進(jìn)樣系統(tǒng)以及特定型
號(hào)，一直在持續(xù)開發(fā)新品以滿足新的應(yīng)用，敬請(qǐng)關(guān)注。
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5G商用進(jìn)入“賽跑”階段 布局情況 產(chǎn)業(yè)鏈分析
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如何成功申報(bào)三級(jí)承試資質(zhì)設(shè)備
真空減壓濃縮器的多元化發(fā)展，響應(yīng)時(shí)代的號(hào)召
德國(guó)afriso GTK型恒溫器四個(gè)使用注意事項(xiàng)
“東數(shù)西算”全面開工 打通東西部數(shù)字經(jīng)濟(jì)大動(dòng)脈
怎樣保持超純水*水質(zhì)？
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VA7010系列電動(dòng)二通閥直銷技術(shù)指標(biāo)
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kistler成功案例：工業(yè)生產(chǎn)過程中100%質(zhì)量控制和柔性化設(shè)計(jì)
實(shí)驗(yàn)室PP實(shí)驗(yàn)臺(tái)如何保養(yǎng)和維護(hù)？
JF-3全自動(dòng)數(shù)顯氧指數(shù)測(cè)定儀的實(shí)驗(yàn)操作方法