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《毫米波頻段介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切測(cè)試方法 準(zhǔn)光腔法》發(fā)布

近日,工業(yè)和信息化部電子第五研究所、電子科技大學(xué)、中興通訊股份有限公司、成都恩馳微波科技有限公司、廣東生益科技股份有限公司、浙江華正新材料股份有限公司等單位發(fā)布了t/cstm 00990—2023 《毫米波頻段介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切測(cè)試方法 準(zhǔn)光腔法》,實(shí)施日期2023年7月7日。
介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切影響著高速高頻電路的關(guān)鍵性能,尤其是在毫米波頻段上。因此,非常有必要建立準(zhǔn)確測(cè)量毫米波頻段介質(zhì)基板介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切的標(biāo)準(zhǔn)方法。
本文件參照 gb/t 1.1—2020 《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第 1 部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》,gb/t 20001.4—2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則 第 4 部分:試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定起草。
本文件規(guī)定了介質(zhì)基板毫米波波段的介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切的準(zhǔn)光腔測(cè)試方法,包括原理、環(huán)境條件、儀器設(shè)備、樣品要求、測(cè)試步驟、計(jì)算公式、系統(tǒng)誤差、注意事項(xiàng)和試驗(yàn)報(bào)告等內(nèi)容。本文件適用于測(cè)試片狀固體材料在毫米波頻段的介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切。
原理:
采用變頻法進(jìn)行測(cè)試,準(zhǔn)光腔諧振腔由一個(gè)球面鏡和一個(gè)平面鏡構(gòu)成,通過測(cè)量空腔和加載樣品后的諧振頻率變化以及腔體品質(zhì)因數(shù)q值的變化,計(jì)算被測(cè)樣品的介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切。
試驗(yàn)環(huán)境條件如下:
a) 溫度:23 ℃±2 ℃,試驗(yàn)時(shí)環(huán)境溫度的波動(dòng)不應(yīng)超過 1 ℃;
b) 濕度:50 % ±5 %。
儀器設(shè)備:
所需儀器設(shè)備如下:a) 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,頻率范圍:25 ghz~110 ghz;b) 準(zhǔn)光腔變溫測(cè)試系統(tǒng),見附錄 b;半對(duì)稱結(jié)構(gòu)準(zhǔn)光腔測(cè)試頻率:25 ghz~110 ghz;空腔品質(zhì)因子:≥60000;球面鏡粗糙度: 0.1;球面鏡加工要求; 0 10 ;c) 高溫干燥箱,溫度能滿足105−2 ;d) 千分尺,分辨率 0.001 mm 或更好。
注意事項(xiàng):
注意事項(xiàng)如下:a) 定期清潔測(cè)試頭、標(biāo)準(zhǔn)物、夾具;b) 定期清理樣品臺(tái),使用柔軟的小毛刷輕拭樣品臺(tái)表面,切勿按壓擦拭(若被測(cè)樣品如有顆粒粉末灰塵,需在測(cè)試完畢后立即對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行清理);c) 保持測(cè)試夾具內(nèi)部環(huán)境干燥,可在清理樣品臺(tái)后,關(guān)閉蓋子放置干燥劑,若有條件的可再充入氮?dú)?s ~2s;d) 拆卸電纜、波導(dǎo)時(shí),動(dòng)作輕柔,使用專用工具拆卸;e) 測(cè)試過程中應(yīng)佩戴連接至設(shè)備的防靜電手環(huán);f) 連接矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀電纜時(shí),應(yīng)使用制造供應(yīng)商提供的的力矩扳手旋緊;g) 高/低溫測(cè)試時(shí),被測(cè)樣品不能與樣品臺(tái)發(fā)生反應(yīng)。
試驗(yàn)報(bào)告:
試驗(yàn)報(bào)告包括但不限于以下內(nèi)容:a) 對(duì)于常溫測(cè)試,試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)當(dāng)包括下列內(nèi)容:1) 測(cè)試環(huán)境(溫度、濕度);2) 測(cè)試頻率;3) 樣品厚度;4) 測(cè)試頻率下的介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切值的測(cè)試值以及平均值;5) 樣品預(yù)處理?xiàng)l件;6) 試驗(yàn)中的異常情況或與規(guī)定程序的差異和偏差。
b) 對(duì)于高/低測(cè)試,試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)當(dāng)包括下列內(nèi)容:1) 測(cè)試環(huán)境(溫度、濕度);2) 測(cè)試頻率;3) 樣品厚度;4) 測(cè)試溫度(t1、t2);5) 測(cè)試溫度(t1、t2))下的介電常數(shù) dk(t1)、dk(t2)和介質(zhì)損耗角正切 df(t1)、df(t2);6) 介電常數(shù)溫度系數(shù) tcdk 和介質(zhì)損耗角正切溫度系數(shù) tcdf 計(jì)算結(jié)果;7) 介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切值的隨溫度變化的曲線圖;8) 樣品預(yù)處理?xiàng)l件;9) 試驗(yàn)中的異常情況或與規(guī)定程序的差異和偏差。
更多詳情請(qǐng)見附件。
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